发明名称 PROCESS FOR THE LIQUID EPITAXIAL DEPOSITION OF A TERNARY COMPOUND
摘要
申请公布号 EP0083540(B1) 申请公布日期 1986.03.05
申请号 EP19820402377 申请日期 1982.12.23
申请人 BENCHIMOL, JEAN-LOUIS;QUILLEC, MAURICE 发明人 BENCHIMOL, JEAN-LOUIS
分类号 H01L21/208;C30B19/00;C30B19/04;C30B19/10;(IPC1-7):C30B19/10;C30B29/40 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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