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发明名称 A SPINNER
摘要
申请公布号 IE50200(B1) 申请公布日期 1986.03.05
申请号 IE19800001954 申请日期 1980.09.18
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人
分类号 B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/16;H01L21/00 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
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