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发明名称 DEVICE FOR AND METHOD OF HEATING PLASMA
摘要
申请公布号 GB2163891(A) 申请公布日期 1986.03.05
申请号 GB19850020967 申请日期 1985.08.21
申请人 * GA TECHNOLOGIES INC 发明人 TIHIRO * OHKAWA
分类号 H05H1/18;(IPC1-7):G21B1/00 主分类号 H05H1/18
代理机构 代理人
主权项
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