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发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM OF SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPS6144785(A) 申请公布日期 1986.03.04
申请号 JP19840166191 申请日期 1984.08.08
申请人 SONY CORP 发明人 TOMITA TAKASHI
分类号 C30B13/06;C30B1/08;C30B13/00;H01L21/20;H01L21/208;H01L21/368 主分类号 C30B13/06
代理机构 代理人
主权项
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