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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR GENERATING PHOSPHORUS BEAM FOR MOLECULAR BEAM EPITAXIE
摘要
申请公布号 JPS6143410(A) 申请公布日期 1986.03.03
申请号 JP19850169951 申请日期 1985.08.02
申请人 VARIAN ASSOC INC 发明人 YANGU GAI CHIYAI
分类号 H01L21/20;C30B23/02;C30B25/02;H01L21/268 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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