| 发明名称 |
LABYRINTH SEAL FOR SUBSTRATE TREATING MACHINE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6142919(A) |
申请公布日期 |
1986.03.01 |
| 申请号 |
JP19850170538 |
申请日期 |
1985.08.01 |
| 申请人 |
F S I CORP |
发明人 |
JIEIMUZU EMU SHIRUBAANEIRU;BURUUSU TEI MATSUKEDANZU |
| 分类号 |
B08B3/00;H01L21/00;H01L21/304 |
主分类号 |
B08B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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