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经营范围
发明名称
MEASURING INSTRUMENT FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6142929(A)
申请公布日期
1986.03.01
申请号
JP19840165142
申请日期
1984.08.07
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
NAGATA YOSHITAKA
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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