发明名称 METHOD OF FORMING MULTILAYER WIRINGS
摘要
申请公布号 JPS6142997(A) 申请公布日期 1986.03.01
申请号 JP19840164441 申请日期 1984.08.06
申请人 NEC CORP 发明人 ASAI SHUJI
分类号 H05K3/46;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H05K3/46
代理机构 代理人
主权项
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