摘要 |
<P>L'INVENTION CONCERNE LES TUBES A FAISCEAU D'ELECTRONS.</P><P>UN TUBE A FAISCEAU D'ELECTRONS COMPREND NOTAMMENT UN EMPILEMENT DE LAMES DE MICRO-LENTILLES16, 17, 18 ET DES MICRO-DEFLECTEURS12 QUI SONT PLACES EN AVAL ET QUI ASSURENT UNE MICRO-DEFLEXION DU FAISCEAU D'ELECTRONS QUI TRAVERSE CHAQUE MICRO-LENTILLE DES LAMES16, 17, 18, AFIN DE DIRIGER CE FAISCEAU VERS UN POINT PRECIS D'UNE ELECTRODE DE CIBLE13. LES LAMES16, 17, 18 SONT EN SILICIUM MONOCRISTALLIN ET LES OUVERTURES QUI FORMENT LES LENTILLES SONT REALISEES PAR PHOTOGRAVURE.</P><P>APPLICATION AUX MEMOIRES A ACCES PAR FAISCEAU D'ELECTRONS.</P>
|