发明名称 RESEAU DE MICRO-LENTILLES ET DE MICRO-DEFLECTEURS POUR UN TUBE A FAISCEAU D'ELECTRONS
摘要 <P>L'INVENTION CONCERNE LES TUBES A FAISCEAU D'ELECTRONS.</P><P>UN TUBE A FAISCEAU D'ELECTRONS COMPREND NOTAMMENT UN EMPILEMENT DE LAMES DE MICRO-LENTILLES16, 17, 18 ET DES MICRO-DEFLECTEURS12 QUI SONT PLACES EN AVAL ET QUI ASSURENT UNE MICRO-DEFLEXION DU FAISCEAU D'ELECTRONS QUI TRAVERSE CHAQUE MICRO-LENTILLE DES LAMES16, 17, 18, AFIN DE DIRIGER CE FAISCEAU VERS UN POINT PRECIS D'UNE ELECTRODE DE CIBLE13. LES LAMES16, 17, 18 SONT EN SILICIUM MONOCRISTALLIN ET LES OUVERTURES QUI FORMENT LES LENTILLES SONT REALISEES PAR PHOTOGRAVURE.</P><P>APPLICATION AUX MEMOIRES A ACCES PAR FAISCEAU D'ELECTRONS.</P>
申请公布号 FR2441266(A1) 申请公布日期 1980.06.06
申请号 FR19790027365 申请日期 1979.11.06
申请人 CONTROL DATA CORP 发明人
分类号 H01J3/12;H01J3/18;H01J9/02;H01J29/18;H01J29/46;H01J29/62;H01J29/74;H01J29/80;(IPC1-7):H01J31/60 主分类号 H01J3/12
代理机构 代理人
主权项
地址