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发明名称 APPAREIL POUR LE DECAPAGE PAR ULTRA-SONS DE GALETTES SEMICONDUCTRICES
摘要
申请公布号 FR2505673(B1) 申请公布日期 1986.02.28
申请号 FR19820008510 申请日期 1982.05.14
申请人 GCA CORP 发明人 ROBERT MARTIN LAWSON
分类号 B08B3/12;C30B33/00;H01L21/304;(IPC1-7):B01J19/10 主分类号 B08B3/12
代理机构 代理人
主权项
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