| 发明名称 |
METHOD OF FORMING SELF-ALIGNING STRUCTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6142140(A) |
申请公布日期 |
1986.02.28 |
| 申请号 |
JP19850074555 |
申请日期 |
1985.04.10 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP |
发明人 |
HARORUDO JIYON HOBURU;TOOMASU FURANSHISU KIYUUCHI |
| 分类号 |
H01L21/28;G02B6/13;H01L21/033;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/308;H01L21/311;H01L21/316;H01L21/321;H01L21/338;H01L29/812;H01S5/00;H01S5/02 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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