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发明名称 WAFER BOAT TRANSFER MECHANISM
摘要
申请公布号 JPS6142126(A) 申请公布日期 1986.02.28
申请号 JP19840163422 申请日期 1984.08.02
申请人 TOSHIBA CORP;TOKUDA SEISAKUSHO LTD 发明人 KODAMA SHOICHI;NAGOSHI TADANOBU
分类号 H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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