| 发明名称 |
MBE SUBSTRATE AND METHOD FOR MEASURING TEMPERATURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6142125(A) |
申请公布日期 |
1986.02.28 |
| 申请号 |
JP19840164008 |
申请日期 |
1984.08.03 |
| 申请人 |
ROHM CO LTD |
发明人 |
MUSHIGAMI MASAHITO;ISHIDA YUUJI;TANAKA HARUO |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/203;H01L21/26;H01L21/268 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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