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发明名称 PROBE PROVIDED WITH STYLUS FORCE MEASURING FUNCTION
摘要
申请公布号 JPS6141971(A) 申请公布日期 1986.02.28
申请号 JP19840163739 申请日期 1984.08.03
申请人 NEC CORP 发明人 SAKAGUCHI TAKUMI
分类号 G01R1/067;G01L5/00;G01R31/26 主分类号 G01R1/067
代理机构 代理人
主权项
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