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发明名称 VERFAHREN ZUR SUBSTRATHEIZUNG
摘要
申请公布号 DD233279(A3) 申请公布日期 1986.02.26
申请号 DD19840261387 申请日期 1984.03.29
申请人 VEB HOCHVAKUUM DRESDEN,DD 发明人 SCHRADE,FRANK,DD;SCHULZE,DIETMAR,DD;WILBERG,RUEDIGER,DD
分类号 C23C14/02;C23C14/22;C23C14/32;C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/22 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
主权项
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