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Mit einem Verfahren und einer Vorrichtung zur Detektion und Abbildung von Meßpunkten, die einen bestimmten Signalverlauf aufweisen, bei denen in einem Rasterkorpuskularmikroskop ein Sekundärkorpuskelsignal (SE) erzeugt wird, soll es schnell möglich sein, einen Meßpunkt in einer integrierten Schaltung aufzufinden, an dem ein bestimmtes Signal vorliegt, bzw. bei fehlerhaften elektronischen Bausteinen zu ermitteln, ob eventuell ein bestimmtes Signal ausgefallen ist. Hierzu wird das gemessene Sekundärkorpuskelsignal (SE) bzw. dessen Verlauf mit dem erwarteten Signal bzw. dessen Verlauf verglichen. Der Vergleich kann insbesondere durch ein Korrelationsverfahren erfolgen. Die Korrelation kann mit Hilfe eines elektronischen Korrelators, aber auch mit Hilfe des Korpuskelstrahls (PE) selbst durchgeführt werden. Im letzten Fall wird der Korpuskelstrahl (PE) mit dem erwarteten Signalverlauf moduliert und das entstehende Sekundärkorpuskelsignal integriert.
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