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L'INVENTION A POUR OBJET UN PROCEDE ET UN DISPOSITIF D'OBTENTION D'UN COURANT GAZEUX CONTENANT UN COMPOSE A L'ETAT DE VAPEUR, UTILISABLE NOTAMMENT POUR INTRODUIRE CE COMPOSE DANS UN REACTEUR D'EPITAXIE EN PHASE VAPEUR.CE PROCEDE CONSISTE A INTRODUIRE LE COMPOSE DANS LE PREMIER COMPARTIMENT 21A D'UNE ENCEINTE 21 SEPAREE EN UN PREMIER ET SECOND COMPARTIMENTS PAR UNE CLOISON POREUSE 23, A PORTER A UNE TEMPERATURE DETERMINEE LE PREMIER COMPARTIMENT DE L'ENCEINTE DE FACON A EVAPORER LE COMPOSE, A METTRE EN CIRCULATION DANS LE SECOND COMPARTIMENT 21B UN GAZ VECTEUR CAPABLE D'ENTRAINER LE COMPOSE EVAPORE, ET A EXTRAIRE DU SECOND COMPARTIMENT LE GAZ VECTEUR CONTENANT LE COMPOSE EVAPORE QUI A DIFFUSE DANS LE SECOND COMPARTIMENT PAR PASSAGE AU TRAVERS DE LA CLOISON POREUSE.EN REGLANT LA TEMPERATURE, ON CONTROLE LE DEBIT DE COMPOSE DIFFUSE AU TRAVERS DE LA CLOISON 23 ET EN REGLANT LE DEBIT DU GAZ VECTEUR DANS LE SECOND COMPARTIMENT 21B, ON REGLE A LA VALEUR VOULUE LA PRESSION PARTIELLE DU COMPOSE DANS LE COURANT GAZEUX SORTANT DE L'ENCEINTE PAR LA CONDUITE31.
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