发明名称 |
APPAREIL ET PROCEDE DE DETECTION D'IONS METALLIQUES |
摘要 |
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申请公布号 |
FR2506940(B1) |
申请公布日期 |
1986.02.21 |
申请号 |
FR19820009433 |
申请日期 |
1982.05.28 |
申请人 |
TOSHIBA KK |
发明人 |
RYOICHI OHTANI ET IWAO OHSIMA;OHSIMA IWAO |
分类号 |
G01M3/18;G01M3/04;G01N27/00;G01N27/07;G01N27/414;G21C17/00;G21C17/02;G21C17/025;(IPC1-7):G01N27/02;H01L29/76 |
主分类号 |
G01M3/18 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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