| 发明名称 |
TREATMENT OF EXHAUST GAS CONTAINING NITROGEN-TRIFLUORIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6135830(A) |
申请公布日期 |
1986.02.20 |
| 申请号 |
JP19840155463 |
申请日期 |
1984.07.27 |
| 申请人 |
ASAHI GLASS CO LTD |
发明人 |
ENOMOTO AKIRA;HASHIMOTO TOSHIO;SEGAMI MAKOTO |
| 分类号 |
B01D53/54;B01D53/34;B01D53/68 |
主分类号 |
B01D53/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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