| 发明名称 |
BATCH REPLACEMENT UNIT FOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6134953(A) |
申请公布日期 |
1986.02.19 |
| 申请号 |
JP19840156318 |
申请日期 |
1984.07.25 |
| 申请人 |
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
TAKEDA SHIGERU;KANO RIICHI;NAKAMURA SHUICHI;TANABE MIKIO;DAIDOJI KENJI;TAKAHASHI YUTAKA |
| 分类号 |
H01L21/677;H01L21/67;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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