| 发明名称 |
FIXED SLIT TYPE PHOTOELECTRIC MICROSCOPE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0102714(A3) |
申请公布日期 |
1986.02.19 |
| 申请号 |
EP19830304052 |
申请日期 |
1983.07.12 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
SHINOZAKI, TOSHIAKI;MORI, ICHIRO |
| 分类号 |
G01B9/04;G01B11/00;G02B21/00;G02B26/04;G02F1/09;H01L21/027;H01L21/66;(IPC1-7):G01B9/04 |
主分类号 |
G01B9/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
