Arrangement with a sealed evacuated hollow body.

摘要

Bei einer interferometrischen Meßeinrichtung zur Messung der Relativlage zweier Objekte (2, 14) ist ein längs einer Meßstrecke beweglicher Reflektor (3) über einen Mitnehmer (13) mit dem einen Objekt (14) verbunden. Die Meßstrecke und der Reflektor (3) sind zur Abschirmung gegen Umwelteinflüsse in einem evakuierten Innenraum (31) eines Hohlkörpers (11) eingebracht, der mit dem anderen Objekt (2) verbunden ist und zwecks Durchführung des Mitnehmers (13) einen Längsschlitz (12) in Meßrichtung aufweist. Dieser Längsschlitz (12) wird mittels einer flexiblen Metallfolie (18) abgedichtet, die über den Mitnehmer (13) gleitet und mittels Magnetleisten (15) am Hohlkörper (11) gehalten wird. Zur Abdichtung des Längsschlitzes (12) im Bereich des Mitnehmers (13) befindet sich zwischen Führungsflächen (16, 17) des Hohlkörpers (11) und des Mitnehmers (13) sowie zwischen dem Mitnehmer (13) und der Metallfolie (18) eine Dichtflüssigkeit (30). Die in den evakuierten Innenraum (31) eindringende Dichtflüssigkeit (30) dringt unterhalb des Flüssigkeitsspiegels (32) einer im Innenraum (31) befindlichen Flüssigkeitssäule (33) ein und ist nicht dem Vakuum des evakuierten Innenraums (31) ausgesetzt, so daß keine Blasen- oder Schaumbildung der Dichtflüssigkeit (30) durch die Freisetzung der in der Dichtflüssigkeit (30) gelösten Gasmenge auftritt.