发明名称 MOUNTING PROCESS OF SILICON WAFER
摘要
申请公布号 JPS6134934(A) 申请公布日期 1986.02.19
申请号 JP19840155142 申请日期 1984.07.27
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD;MIYAZAKI OKI DENKI KK 发明人 OKUNO MICHIAKI
分类号 H01L21/223;H01L21/22 主分类号 H01L21/223
代理机构 代理人
主权项
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