| 发明名称 |
LASER INTERFEROMETER SYSTEM FOR MONITORING AND CONTROLLING IC STEP AND METHOD THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6134944(A) |
申请公布日期 |
1986.02.19 |
| 申请号 |
JP19850079151 |
申请日期 |
1985.04.12 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
DAN MEIDAN;SATSUSON SOMEKU;EDOWAADO EMU KAKUZOROUSUKI |
| 分类号 |
H01L21/302;G01B11/06;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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