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发明名称 GROWING DEVICE OF SEMICONDUCTOR CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPS6134925(A) 申请公布日期 1986.02.19
申请号 JP19840153975 申请日期 1984.07.26
申请人 RES DEV CORP OF JAPAN;NISHIZAWA JUNICHI;ABE HITOSHI 发明人 NISHIZAWA JUNICHI;ABE HITOSHI
分类号 H01L21/268;H01L21/205;H01L21/263 主分类号 H01L21/268
代理机构 代理人
主权项
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