| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR CORPUSCULAR IRRADIATON OF SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SU1211825(A1) |
申请公布日期 |
1986.02.15 |
| 申请号 |
SU19807771536 |
申请日期 |
1980.12.17 |
| 申请人 |
VEB,KAPó |EöCC öEHA (ôHOüPE¯üPôùTôE) |
发明人 |
KHAN EBERKHARD,DD |
| 分类号 |
H01J37/30;(IPC1-7):H01J37/30 |
主分类号 |
H01J37/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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