| 发明名称 |
ELECTRO-MAGNETIC ALIGNMENT APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0131155(A3) |
申请公布日期 |
1986.02.12 |
| 申请号 |
EP19840106418 |
申请日期 |
1984.06.05 |
| 申请人 |
THE PERKIN-ELMER CORPORATION |
发明人 |
GALBURT, DANIEL |
| 分类号 |
H01L21/30;G03F7/20;G03F9/00;G05D3/00;H01F7/06;H01L21/027;H01L21/68;H02K41/035;(IPC1-7):G05D3/12 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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