发明名称 DETERMINATION OF TRUE ELECTRICAL CHANNEL LENGTH OF SURFACE FET
摘要
申请公布号 EP0100396(B1) 申请公布日期 1986.02.12
申请号 EP19830103557 申请日期 1983.04.13
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 SCHICK, JEROME DAVID
分类号 H01J37/28;G01R31/26;G01R31/265;G01R31/302;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;H01L29/78;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 H01J37/28
代理机构 代理人
主权项
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