摘要 |
Verfahren und Vorrichtung zur Meßempfindlichkeitserhöhung von berührungsfrei arbeitenden, mindestens eine Meßspule umfassenden Wegmeßsensoren. Die mindestens eine Spule wird über ihre sich in Richtung der zu messenden Wegverschiebung erstreckenden Wirkungsbreite gleichzeitig mindestens der Oberflächeneinwirkung sowohl eines elektrisch gut leitenden, nicht ferromagnetischen, vorzugsweise jedoch dia- oder paramagnetische Stoffe als auch eines ferromagnetischen, hochpermeablen Stoffes ausgesetzt, derart, daß der Meßweg durch gleichzeitige Anwendung des induktiven sowie des Wirbelstromprinzips auf die mindestens eine Meßspule bestimmbar wird.
|