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发明名称
FOCUSING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPS6130034(A)
申请公布日期
1986.02.12
申请号
JP19840151224
申请日期
1984.07.23
申请人
HITACHI LTD
发明人
TANAKA TSUTOMU;OSHIDA YOSHISADA
分类号
H01L21/30;G03F7/20;G03F7/207;H01L21/027
主分类号
H01L21/30
代理机构
代理人
主权项
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