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发明名称
摘要
申请公布号 JPS614171(B2) 申请公布日期 1986.02.07
申请号 JP19760102388 申请日期 1976.08.27
申请人 SANKEN ELECTRIC CO LTD 发明人 OOTSUKA KOJI
分类号 C30B19/00;C30B29/40;C30B29/44;H01L21/208;H01L33/30 主分类号 C30B19/00
代理机构 代理人
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