| 发明名称 |
METHOD OF FORMING CONDUCTIVE THIN LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6127661(A) |
申请公布日期 |
1986.02.07 |
| 申请号 |
JP19850098161 |
申请日期 |
1985.05.10 |
| 申请人 |
HUGHES AIRCRAFT CO |
发明人 |
DEBITSUDO BII RENSHIYU;JIYON WAI CHIEN |
| 分类号 |
H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/3213;H01L21/3215;H01L21/336;H01L21/338 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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