METHOD FOR PASSIVATING ALUMINUM-BASED METALLIZATIONS,申请号EP19820105213-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR PASSIVATING ALUMINUM-BASED METALLIZATIONS
摘要
申请公布号	EP0068277(B1)	申请公布日期	1986.02.05
申请号	EP19820105213	申请日期	1982.06.15
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION	发明人	ELDRIDGE, JEROME MICHAEL;LEE, MICHAEL HEIWO;SCHWARTZ, GERALDINE COGIN
分类号	C23F4/00;C23C8/10;C23F1/00;C23F1/20;H01L21/302;H01L21/316;(IPC1-7):C23C8/00;C23C14/00;C23F17/00	主分类号	C23F4/00
代理机构		代理人
主权项
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