| 发明名称 |
THERMAL TREATMENT APPARATUS AND METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2109519(B) |
申请公布日期 |
1986.02.05 |
| 申请号 |
GB19820028547 |
申请日期 |
1982.10.06 |
| 申请人 |
* HITACHI LTD |
发明人 |
TAMOTSU * SASAKI;TETSUYA * TAKAGAKI;KENICHI * IKEDA |
| 分类号 |
F27D3/04;B01J4/00;F27B5/02;F27D3/12;H01L21/22;(IPC1-7):F27D3/12;F27B5/00 |
主分类号 |
F27D3/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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