首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
ETCHING METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号
EP0119455(A3)
申请公布日期
1986.02.05
申请号
EP19840101441
申请日期
1984.02.13
申请人
HITACHI, LTD.
发明人
OTSUBO, TORU;AIUCHI, SUSUMU;KAMIMURA, TAKASHI
分类号
C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F1/00
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
椭圆规
变速三轮脚踏车
光管快速接头
一种电子点火器的伸出装置
打火机安全装置
储能式家用水冷空调机
重叠式热泵采暖装置
遥控足球
一种波纹吸液管
大功率无触点压力表
黄麻纺纱张力调节器
一种可控硅电压调整器
摆动式燃气重型点火器
小工作电流的自控储能电加热炉
伸缩式悬挂装置
洁牙器
中草药保健烟嘴
Electrophotographic printing apparatus.
Method and apparatus for reserving system resources to ensure quality of service.
Method of fabricating semicondutor thin film and method of fabricating hall-effect device.