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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ZERSTAEUBUNG.
摘要
申请公布号 DE3483647(D1) 申请公布日期 1991.01.03
申请号 DE19843483647 申请日期 1984.12.27
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SAITO, HIROSHI, TOTSUKA-KU YOKOHAMA, JP;TATEISHI, HIDEKI, KANAZAWA-KU YOKOHAMA, JP;KOBAYASHI, SHIGERU, SETAGAYA-KU TOKYO, JP;AIUCHI, SUSUMU;SUZUKI, YASUMICHI;SAKATA, MASAO;SHIMAMURA, HIDEAKI, TOTSUKA-KU YOKOHAMA, JP;KAMEI, TSUNEAKI, NAKA-GUN KANAGAWA-KEN, JP
分类号 C23C14/36;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/46;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/31;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/36
代理机构 代理人
主权项
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