发明名称 METHOD OF FLATTENING SEMICONDUCTOR AND STRUCTURE PRODUCED THEREBY
摘要
申请公布号 JPS6122631(A) 申请公布日期 1986.01.31
申请号 JP19850017759 申请日期 1985.02.02
申请人 FAIRCHILD CAMERA & INSTRUMENT CORP 发明人 GUREGU BAATON
分类号 H01L21/306;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3105;H01L21/311;H01L21/316;H01L21/762 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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