| 发明名称 |
GLOW DISCHARGE APPLICATION OF A CARBON COATING ONTO A SUBSTRATE AND ARTICLES COATED THEREBY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL76336(D0) |
申请公布日期 |
1986.01.31 |
| 申请号 |
IL19850076336 |
申请日期 |
1985.09.09 |
| 申请人 |
ENERGY CONVERSION DEVICES, INC. |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C16/26;C23C16/27;C23C16/32;C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205;H01L21/314;(IPC1-7):C23C/ |
主分类号 |
C23C16/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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