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发明名称 LIGHT IRRADIATING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPS6122620(A) 申请公布日期 1986.01.31
申请号 JP19840141337 申请日期 1984.07.10
申请人 USHIO DENKI KK 发明人 HIRAMOTO TATSUMI;OOYAMA MASAMITSU;TANAKA KAZUYA
分类号 H01L21/205;H01L21/26;H01L21/263 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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