| 发明名称 |
LINEARGESTEUERTE DURCHFLUSSVORRICHTUNG. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CH654087(A5) |
申请公布日期 |
1986.01.31 |
| 申请号 |
CH19810003119 |
申请日期 |
1981.05.13 |
| 申请人 |
MKS INSTRUMENTS, INC. |
发明人 |
EWING, JAMES H.;CLARK, WILLIAM R. |
| 分类号 |
G05D7/00;F02D9/02;F02D11/04;F16K1/22;F16K31/04;F16K31/528;(IPC1-7):F16K1/22;F16K1/54;F16H35/16 |
主分类号 |
G05D7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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