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发明名称 CORRECTION OF ASTIGMATISM IN ELECTRON BEAM INSTRUMENTS
摘要
申请公布号 GB2123582(B) 申请公布日期 1986.01.29
申请号 GB19830016300 申请日期 1983.06.15
申请人 * NATIONAL RESEARCH DEVELOPMENT CORPORATION 发明人 KENNETH CHARLES ARTHUR * SMITH;STEPHEN JUSTUS * ERASMUS
分类号 H01J37/153;(IPC1-7):H01J37/26 主分类号 H01J37/153
代理机构 代理人
主权项
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