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经营范围
发明名称
APPARATUS FOR IRRADIATION WITH CHARGED PARTICLE BEAMS
摘要
申请公布号
EP0084850(A3)
申请公布日期
1986.01.29
申请号
EP19830100436
申请日期
1983.01.19
申请人
HITACHI, LTD.
发明人
TAMURA, HIFUMI;ISHITANI, TOHRU;SHIMASE, AKIRA
分类号
H01J37/073;G01Q30/20;H01J37/08;H01J37/10;H01J37/12;H01J37/252;(IPC1-7):H01J37/10
主分类号
H01J37/073
代理机构
代理人
主权项
地址
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