发明名称 APPARATUS FOR IRRADIATION WITH CHARGED PARTICLE BEAMS
摘要
申请公布号 EP0084850(A3) 申请公布日期 1986.01.29
申请号 EP19830100436 申请日期 1983.01.19
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 TAMURA, HIFUMI;ISHITANI, TOHRU;SHIMASE, AKIRA
分类号 H01J37/073;G01Q30/20;H01J37/08;H01J37/10;H01J37/12;H01J37/252;(IPC1-7):H01J37/10 主分类号 H01J37/073
代理机构 代理人
主权项
地址