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发明名称
摘要
申请公布号	JPS6115760(U)	申请公布日期	1986.01.29
申请号	JP19840100906U	申请日期	1984.07.04
申请人		发明人
分类号	H01L29/73;H01L21/331;H01L29/72;H01L29/732;H01L29/861;(IPC1-7):H01L29/72;H01L29/91	主分类号	H01L29/73
代理机构		代理人
主权项
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