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发明名称 MEASURING METHOD OF FILM THICKNESS
摘要
申请公布号 JPS6120803(A) 申请公布日期 1986.01.29
申请号 JP19840142573 申请日期 1984.07.10
申请人 TOPPAN INSATSU KK 发明人 TSUKAHARA YUUSUKE;TAKEUCHI EIJI;HAYASHI EISAKU
分类号 G01S15/88;G01B17/02 主分类号 G01S15/88
代理机构 代理人
主权项
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