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发明名称 INSPECTING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6119143(A) 申请公布日期 1986.01.28
申请号 JP19840139934 申请日期 1984.07.06
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 HONMA MICHIO
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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