| 发明名称 |
MOVEMENT TRANSFER APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6118145(A) |
申请公布日期 |
1986.01.27 |
| 申请号 |
JP19840137135 |
申请日期 |
1984.07.04 |
| 申请人 |
HITACHI SEISAKUSHO KK |
发明人 |
MATSUO AKIHIKO;TAJIMA TAKESHI;KUBOTA SHIGEO;KETSUSAKO MITSUNORI |
| 分类号 |
H01L21/677;B25J18/02;C23C14/14;C23C14/24;H01L21/203;H01L21/67;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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