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发明名称 HEAT TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6116513(A) 申请公布日期 1986.01.24
申请号 JP19840137484 申请日期 1984.07.03
申请人 TOSHIBA KK 发明人 MINAZU YASUMASA;SHIOZAKI MASAKAZU
分类号 H01L21/26;H01L21/22;H01L21/324 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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