| 发明名称 |
MONITOR SYSTEM OF LITHOGRAPHIC DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6115328(A) |
申请公布日期 |
1986.01.23 |
| 申请号 |
JP19850045023 |
申请日期 |
1985.03.08 |
| 申请人 |
INTERN BUSINESS MACHINES CORP |
发明人 |
BAAN JIENGU RIN;YUAN TAUA |
| 分类号 |
H01L21/30;G01J1/42;G03F7/20;G03F7/22;G03F9/00;H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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