发明名称 Dispositif, méthode et appareil pour l'alignement exact des rondelles semi-conductrices dans les photo-imprimantes.
摘要 <P>La présente invention a pour objet un dispositif, une méthode et un appareil pour l'alignement exact des rondelles semiconductrices dans les photo-imprimantes. <BR/> Dispositif caractérisé en ce qu'il comprend: <BR/> (a) une plaque d'alignement, <BR/> (b) ladite plaque d'alignement ayant une région ouverte pour le passage d'énergie électromagnétique et des moyens de support à extension s'étendant dans ladite région ouverte pour être au contact avec une surface de ladite rondelle, <BR/> (c) lesdits moyens de support à extension étant pourvus d'un moyen de contact ponctuel alignée, arrangée et construite pour un contact de soutien ponctuel avec la surface de ladite rondelle à une distance prédéterminée et exacte de ladite source d'énergie électromagnétique.</P>
申请公布号 FR2695252(A1) 申请公布日期 1994.03.04
申请号 FR19930010444 申请日期 1993.08.30
申请人 PENN RANDY 发明人 PENN RANDY J.
分类号 G03F7/20;G03F9/00;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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