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发明名称 ANLAGE ZUM HERSTELLEN VON HALBLEITER-SCHICHTSTRUKTUREN DURCH EPITAKTISCHES WACHSTUM
摘要
申请公布号 DE3427056(A1) 申请公布日期 1986.01.23
申请号 DE19843427056 申请日期 1984.07.23
申请人 STANDARD ELEKTRIK LORENZ AG 发明人 GOHLA,BERNHARD,DIPL.-ING.;LINNEBACH,RICHARD,DIPL.-PHYS.DR.
分类号 H01L21/205;B65G49/07;C30B19/06;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/208;H01L21/68;B65G49/06 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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